關鍵詞：渦流傳感器 電感變化率 comsol仿真 靈敏度 熱穩定性 

摘要：為了提高渦流傳感器的電感靈敏度和熱穩定性,研究了探頭線圈的結構、激勵頻率和溫度對線圈電感變化率的影響。首先通過COMSOL Multiphysics仿真軟件構建穩態物理模型并加入瞬態溫度模塊,通過參數化掃描仿真,驗證該模型的合理性。其次在穩態恒溫實驗條件下對線圈內外半徑、厚度、匝數進行仿真,得到導線直徑不超過40μm、內半徑0.1mm~0.5mm、外半徑2.5mm的60匝單層平面線圈的電感靈敏度和測量分辨率最佳。最后在瞬態變溫實驗條件下得到激勵頻率900kHz時可以最大程度的提高傳感器熱穩定性和電感靈敏度,減小溫度引起的誤差。

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