關鍵詞：zno薄膜 晶體結構 表面形貌 發光性能 

摘要：本文利用溶膠-凝膠旋涂法在玻璃襯底上制備了本征、N單摻和Li-N共摻的ZnO薄膜。研究Li摻雜量的改變對薄膜的晶體結構、表面形貌、透過性能和發光性能的影響。采用了紫外-可見分光光度計(UV-VIS)、光致發光譜(PL)、掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線衍射儀(XRD)等表征手段對樣品進行了測試。結果表明:Li摻雜量的改變對薄膜的結構和性能都有一定的影響,隨著Li摻雜量的增加,(002)衍射峰強度增大,晶粒尺寸先增加后減小,紫外發射峰的強度和薄膜的透過性能同樣是先增強后減弱。當Li元素的原子比為6 at%時,薄膜的c軸擇優取向明顯,結晶性能最好,薄膜紫外發光最強,透過率最大。

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