關(guān)鍵詞：精密測量 圓光柵測角 測角誤差 諧波補償 多項式 

摘要：在實際工業(yè)應(yīng)用中,環(huán)境溫度變化是便攜關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機中旋轉(zhuǎn)軸系測角精度的主要誤差源。為了消除環(huán)境溫度對旋轉(zhuǎn)軸系測角精度的影響,本文提出了一種新型圓光柵測角誤差補償方法,即建立含有環(huán)境溫度影響因子的圓光柵測角誤差補償模型。利用諧波方法建立在特定溫度下的圓光柵測角誤差補償模型,利用多項式方法建立諧波系數(shù)與環(huán)境溫度之間的函數(shù)關(guān)系。最后,以14℃下的實驗數(shù)據(jù)為驗證數(shù)據(jù),分別代入到傳統(tǒng)諧波誤差補償模型和本文提出的模型中。實驗結(jié)果表明,相對于傳統(tǒng)諧波誤差補償模型,使用本文提出的模型補償后圓光柵的測角精度提高4倍左右,修正后的殘差峰峰值在2″以內(nèi),能夠有效地補償10~40℃下圓光柵的測角誤差。

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