關(guān)鍵詞：離子束濺射 al2o3薄膜 光學(xué)窗口 環(huán)境適應(yīng)性 

摘要：為了研究Al2O3薄膜在藍(lán)寶石光學(xué)窗口中的應(yīng)用,采用離子束濺射技術(shù)制備了不同工藝條件下的Al2O3薄膜,根據(jù)薄膜的測(cè)試結(jié)果對(duì)薄膜的折射率和消光系數(shù)進(jìn)行了擬合,分析了工藝條件對(duì)Al2O3薄膜性能的影響。在藍(lán)寶石窗口上用ZnS和Al2O3作為高、低折射率材料,設(shè)計(jì)并制備了電視(600~900 nm)和中紅外(3.4~4.8μm)雙波段高效減反射薄膜,測(cè)試結(jié)果表明,薄膜的減反射效果良好,具有較強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性,適合于作為光學(xué)窗口薄膜。而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8~3.5μm波段的吸收,以及藍(lán)寶石基片在4.0μm之后的吸收是造成透射率較低的主要原因。

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