關鍵詞：化學氣相沉積 石墨烯 制備 薄膜 品質 

摘要：石墨烯自發現以來,因其非常優異的電學、熱學、光學和力學等性能,在高端電子、能源存儲、復合材料等領域有著廣闊的應用前景1。為了解決石墨烯的宏量制備和應用問題,自2009年以來,化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,CVD)方法逐漸成為制備高品質石墨烯薄膜的最有效手段之一2。CVD方法制備的石墨烯因其具有質量高、層數可控、可放大性好等特點,近幾年被廣泛地關注,并取得了迅速發展。

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