關鍵詞：等離子體輔助原子層沉積 包覆 硅基氮化物熒光粉 

摘要：采用等離子體輔助原子層沉積的方法,通過振動流化床,在硅基氮化物熒光粉表面保形地包覆了氧化鋁薄膜。分別用傅立葉紅外光譜(FTIR)、掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和pH計對包覆前后熒光粉的表面成分、形貌和耐水性進行了測試。最后,還用熒光光譜儀對包覆前后熒光粉的PL發光進行了表征。結果表明,氧化鋁被保形地包覆在熒光粉顆粒表面。包覆大大提升了熒光粉在水中的穩定性。包覆一定厚度的氧化鋁對發光性能有所提升并可以略微降低熒光粉的色溫。

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